Cleanroom
Salle blanche MED GRADE – 160 m² – ISO 7
Notre plateforme dispose d’une salle blanche qualifiée MED GRADE de 160 m², répondant aux exigences de la classe ISO 7. Cet environnement contrôlé permet la fabrication, l’encapsulation et la caractérisation de dispositifs hautement sensibles, en particulier dans le domaine des électrodes souples et des capteurs avancés.
La salle blanche est organisée en plusieurs zones spécialisées :
Zone de photolithographie
Équipée pour les procédés de microfabrication, cette zone permet l’insolation, le développement et la structuration précise de couches fines sur une variété de substrats.
Zone PDMS / silicone
Dédiée aux procédés utilisant le PDMS et autres silicones, elle permet l’encapsulation, la passivation et la réalisation de structures souples, essentielles pour les électrodes implantables ou les interfaces peau-machine.
Zone plasma & métrologie
Cette zone rassemble des équipements de procédés avancés, notamment :
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Sputtering (dépôt physique en phase vapeur)
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Plasma etching (gravure plasma)
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Outils de métrologie permettant de mesurer, contrôler et caractériser l’ensemble des matériaux et dispositifs fabriqués dans la salle blanche.
Wet etching
Nous réalisons également des procédés de gravure chimique humide, adaptés aux matériaux et structures nécessitant une approche complémentaire au plasma.
Cette infrastructure complète et intégrée offre un environnement idéal pour le développement de technologies de pointe, de la microfabrication jusqu’à la caractérisation finale des dispositifs.
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